化学品供应系统简介
化学品供应系统的目的
■ 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子
■ 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案
■ 供应高纯度化学品以显影芯片图案
■ 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物
■ 供应高纯度化学品以研磨芯片
■ 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件
化学品供应系统流程图(一)
化学品种类与用途(一)
■ 酸性:
○ 腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3PO4...
○ 毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...
○ 碱性:NH4OH,KOH,Developer...
■ 有机溶剂:
○ 易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...
○ 腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...
■ 氧化性:HNO3 ,H2O2...
化学品种类与用途(二)
化学品供应系统的基本要求
■ 操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑
■ 化学品零污染:与化学品接触部分完全与化学品兼容
■ 微粒子控制:过滤器循环过滤
■ 满足最大需求流量:高浓度化学品如H2SO4、H3PO4
■ 自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化
■ 取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子含量取样分析
■ 泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)
■ 系统诊断:Pump、Filter 、Valve运转时数
■ 维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能
■ 化学品用量统计
化学品供应质量要求
化学品供应系统流程图(二)
化学品供应系统流程图(三)
化学品供应系统流程图(四)
CCB流程图
CDS流程图(型一)
CDS流程图(型二)
CDS流程图(型三)
Tee-Box的构造
VMB的构造
化学品供应系统的材料要求
■ 一般无机酸碱类
○ 外管:CPVC
○ 内管:PFA Piping & Tubing
○ 管件:铁弗龙材质制品
■ 有机溶剂类</span>
○ 外管:SUS 304
○ 内管:SUS 316L EP
○ 管件:SUS 316L以上制品
■ 有机碱类
○ 外管:SUS 304
○ 内管:PFA Piping & Tubing
○ 管件:铁弗龙材质制品
化学品供应系统运转操作注意事项(一)
■ 充分阅读MSDS,认识化学品之物质特性,危害性,危害标示,危害途径及防护措施
■ 工作前,先行思考及演练各细节后,再行动
■ 工作时应双人以上搭配作业,事前事后确认
■ 正确选用及使用适当防护器具
■ 正确处理化学品废弃物,避免造成后续伤害
■ 良好个人安全卫生环保习惯
■ 认知工作安全”意外”意识
化学品供应系统运转操作注意事项(二)
■ 熟知化学品泄漏处理七项步骤
○ 远离泄漏源辨示泄漏状况
○ 寻求协助支持
○ 管制隔离污染区
○ 拯救伤员
○ 围堵外泄物
○ 清除污染物及环境检测
○ 事故调查记录留存
化学品供应系统运转操作注意事项(三)
■ 熟知化学品淋溅烧伤之急救处理
○ 稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质
○ 自救——救人前应先保护自己
○ 冲——清水不断冲洗至少15分钟
○ 脱——边冲边脱并避免二次伤害
○ 支持——请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹)
○ 送——尽速送医
化学品供应系统运转操作注意事项(四)
■ 熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理
○ 原则
1、维持呼吸,血液循环,维持患者生命
2、减轻患者病痛,促使其能早日康复
○ 呼吸道吸入
1、离开污染区(避免自己或其它人再受污染)
2、喊叫,打电话求救,请求支持
3、确认吸入物质,维持呼吸心跳,尽速送医
○ 消化道食入
1、喊叫,打电话求救,请求支持
2、催吐(若昏迷,意识不清或误食腐蚀性物质,则不得催吐)
3、 确认吸入物质,维持呼吸心跳,尽速送医
○ 眼睛接触
1、迅速翻开眼睑,清水轻洗15分钟以上,立刻送医
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