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双套管管道</span>工艺简述</span>

上海晶福机电科技有限公司

常见的用于面板及集成电子电路生产工艺所必须的</span>化学药液通常是具有</span>强腐蚀性、易燃性、易爆和剧毒性等危害的,因此用于输送此类介质的管道在设计工艺要求上既要保证电子工业厂房化学品安全有效</span>的</span>输送</span>,</span>又必须保证对人、设备及环境造成的污染和伤害的最小化。</span>

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晶福化学品供应及回收系统管道实例

双套管施工法是超纯化学品供应系统中管道输送工艺施工常用的一种方法。常见的双套管施工工艺为CLEAR PVC(外管)+PP/PFA/PVDF(内管)。此做法适用于</span>超纯化学品供应系统中无机化学品</span>(</span>硫酸、氢氟酸、氢氧化氨、硝酸、氢氧化钠、硫酸铜等</span>)</span>的供应输送</span>,</span>能为电子级超纯化学品的正常供应提供有效保障</span>。</span>

超纯化学品供应系统的双套管</span>施工法,管道系统分两层:内管采用四氟乙烯与全氟烃基乙烯醚的共聚物的软质管道</span>(</span>PFA)</span>为输送化学品的</span>通道,外管采用透明PVC保护管道。</span>

常见规格为</span>DN10、20、25、50 (1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件,管道、附件</span>通过专用设备PFA焊接机</span>进行焊接。</span>

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晶福化学品供应及回收系统管道实例

1、</span>系统构成:</span>

 系统一般由充填装置(</span>CCB)</span>、储罐</span>(</span>TANK)</span>、供给</span>单元(CDS)</span>、</span>外部管路组成。</span>

      充填装置:</span>接收外部化学品槽车的化学品,并</span>输送到储罐内;

      储存装置:</span>储存化学品</span>,</span>一般放置在化学品房内</span>;</span>

      供给设备:</span>供应化学品</span>的装置或设备;</span>

    管路系统:</span>由</span>接收装置——</span>化学品储罐</span>——</span>供给装置。</span>

一般用于</span>从充填</span>装置至化学品储罐至供给装置</span>,</span>最终至设备使用点</span>。</span>

2、工艺优势</span>:</span>

        ①系统安全性高:内外双层管,内</span>管输送无机化学品,外管防止内管泄漏,</span>起到隔断保护的</span>作用。</span>

        ②工序明确严谨:透明PVC的管道安装完毕,检验合格后继而</span>进行内管PFA软管的施工。</span>

        ③管路密闭性好:</span>PFA管为整卷(</span>常见规格为</span>100米</span>/卷</span>、</span>200米/卷</span>)。</span>

        ④系统可视性好:</span>透明PVC管</span>具有可视性</span>的特点便于故障排除及检修,可有效降低维护成本。</span>

3、适用范围:</span>

  双套管管路供应系统普遍</span>适用于</span>电子化学品化工厂、</span>电子化学品</span>集成电路、</span>TFT-LCD面</span>板</span>、</span>太阳能光伏</span>制造行业</span>。</span>

4、工艺</span>要素:</span>

       ① 透明PVC管道采用专用PVC胶水粘接。</span>

       ② 管道系统无三通分支,系统内的阀门设置在设备或</span>专用的</span>阀门箱内。</span>

       ③ 透明PVC管道弯头也可采用热风煨弯的工艺方式</span>,直段透明PVC管采用</span>平接头直接</span>连接,承口与PVC管道插口间</span>采用专用胶水粘接。</span>




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