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化学品供应系统简介


化学品供应系统的目的


■    供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子

■    供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案

■    供应高纯度化学品以显影芯片图案

■    供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物

■    供应高纯度化学品以研磨芯片

■    供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件


化学品供应系统流程图(一)



化学品种类与用途(一)


■    酸性:

○    腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3PO4...

○    毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...

○    碱性:NH4OH,KOH,Developer...


■    有机溶剂:

○    易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...

○    腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...


■    氧化性:HNO3 ,H2O2...


化学品种类与用途(二)


化学品供应系统的基本要求


■    操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑

■    化学品零污染:与化学品接触部分完全与化学品兼容

■    微粒子控制:过滤器循环过滤

■    满足最大需求流量:高浓度化学品如H2SO4、H3PO4

■    自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化

■    取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子含量取样分析

■    泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)

■    系统诊断:Pump、Filter 、Valve运转时数

■    维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能

■    化学品用量统计


化学品供应质量要求


化学品供应系统流程图(二)


化学品供应系统流程图(三)


化学品供应系统流程图(四)


CCB流程图


CDS流程图(型一)

CDS流程图(型二)



CDS流程图(型三)


Tee-Box的构造


VMB的构造


化学品供应系统的材料要求

■    一般无机酸碱类

    ○    外管:CPVC

    ○    内管:PFA Piping & Tubing

    ○    管件:铁弗龙材质制品

■    有机溶剂类

    ○    外管:SUS 304

    ○    内管:SUS 316L EP

    ○    管件:SUS 316L以上制品

■    有机碱类

    ○    外管:SUS 304

    ○    内管:PFA Piping & Tubing

    ○    管件:铁弗龙材质制品


化学品供应系统运转操作注意事项(一)


■    充分阅读MSDS,认识化学品之物质特性,危害性,危害标示,危害途径及防护措施

■    工作前,先行思考及演练各细节后,再行动

■    工作时应双人以上搭配作业,事前事后确认

■    正确选用及使用适当防护器具

■    正确处理化学品废弃物,避免造成后续伤害

■    良好个人安全卫生环保习惯

■    认知工作安全”意外”意识



化学品供应系统运转操作注意事项(二)


■    熟知化学品泄漏处理七项步骤

    ○    远离泄漏源辨示泄漏状况

    ○    寻求协助支持

    ○    管制隔离污染区

    ○    拯救伤员

    ○    围堵外泄物

    ○    清除污染物及环境检测

    ○    事故调查记录留存


化学品供应系统运转操作注意事项(三)


■    熟知化学品淋溅烧伤之急救处理

    ○    稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质

    ○    自救——救人前应先保护自己

    ○    冲——清水不断冲洗至少15分钟

    ○    脱——边冲边脱并避免二次伤害

    ○    支持——请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙 (涂抹-按摩-擦净-涂抹)

    ○    送——尽速送医


化学品供应系统运转操作注意事项(四)


■    熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理

    ○    原则

            1、维持呼吸,血液循环,维持患者生命

            2、减轻患者病痛,促使其能早日康复

   ○     呼吸道吸入

            1、离开污染区(避免自己或其它人再受污染)

            2、喊叫,打电话求救,请求支持

            3、确认吸入物质,维持呼吸心跳,尽速送医

    ○    消化道食入

            1、喊叫,打电话求救,请求支持

            2、催吐(若昏迷,意识不清或误食腐蚀性物质,则不得催吐)

           3、 确认吸入物质,维持呼吸心跳,尽速送医

    ○    眼睛接触

            1、迅速翻开眼睑,清水轻洗15分钟以上,立刻送医

    

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